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1、
微坑 - 在扩散照明下可见的, 晶圆片表面可区分的缺陷.
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2、
光箱：内部用扩散照明的玻璃面箱子。观看透明片用。
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3、
微坑-在扩散照明下可见的，晶圆片表面可区分的缺陷。
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